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一种半金属/半导体肖特基结及其制备方法和肖特基二极管

成果编号
24541
完成单位
南京大学
完成时间
2019年
成熟程度
其他
价格
面议
服务产业领域
新材料
单位类别
985系统院所
关注
科技计划 成果形式
新产品
合作方式 参加活动

                                        
专利情况
未申请专利

成果简介

综合介绍
传统的肖特基器件因为传统金属和半导体界面的缺陷而引入较大的噪声。本发明采用半金属性质的稀土VA族化合物替代传统金属,其与半导体层晶格失配较小,对称性匹配,且可以浸润半导体层的表面,进而形成高质量的半金属/半导体肖特基结。本发明采用分子束外延法制备半金属/半导体肖特基结,RE-VA族化合物可以在超高真空条件下原位外延在半导体层上,降低了界面氧化物形成的可能性,有利于提高界面质量,且制备方法操作简单,易于实施。该产品主要应用于光电探测领域。
创新要点

                                    
技术指标
①理想因子≤1.05;
②噪声等效功率≤1 pW/Hz1/2
其他说明
江苏省功能材料设计原理与应用技术重点实验室

完成人信息

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